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日本SMC壓力計按工作原理不同可分為液柱式、彈性式和傳感器式3種形式
(1).液柱式如U型管壓力計、排管壓力計等,是根據(jù)流體靜力學原理將壓力信號轉變?yōu)橐褐叨刃盘?,常使用水、酒精或水銀作為測壓工質。特點: 結構簡單、讀數(shù)直觀、信號不能遠傳,適合于低壓測量,其測量上限不超過0.1 ~0.2MPa;精度為 ±0.02%~±0.15% 。
(2).彈性式如包登管壓力計,將壓力信號轉變?yōu)閺椥栽臋C械變形量,以指針偏轉的方式輸出信號。但更多情況下要求將信號傳至控制室,一般需在已有的彈性測壓計結構上增加轉換部件,就可以實現(xiàn)信號遠距離傳輸。彈性測壓計信號多采用電遠傳方式,即將彈性元件的變形或位移轉換為電信號輸出。常見的轉換方式有電位器式、霍爾元件式、電感式、差動變壓器式。工業(yè)上多采用彈性性式壓力計。
(3).壓力傳感器的原理是將壓力信號轉變?yōu)槟撤N電信號,常見的有:應變式、壓阻式、壓電式、電容式。
a.應變式:應變元件工作原理基于導體和半導體的“應變效應”,即當導體和半導體材料發(fā)生機械形變時,其阻值將發(fā)生變化。
b.壓阻式:壓阻式壓力傳感器又稱擴散硅壓力傳感器,是基于半導體的壓阻效應。它不同于應變式傳感器所用的體型應變元件,而是用集成電路工藝直接在硅平膜片上按一定晶向制成擴散壓敏電阻。硅平膜片在微波形變時有良好的彈性特性。膜片的變形使 擴散電阻的阻值發(fā)生變化。
c.壓電式:是利用壓電材料的壓電效應將被測壓力轉換為電信號,它是動態(tài)壓力檢測中常用的傳感器,不適宜測量緩慢變化的壓力和靜態(tài)壓力。由壓電材料制成的壓電元件受到壓力作用時會產(chǎn)生電荷,當外力去除后電荷消失,在彈性范圍內(nèi),壓電元件產(chǎn)生的電荷量與作用力之間呈線性關系。
d.電容式:是將彈性元件的位移轉換為電容量的變化,以測壓膜片作為電容器的可動板,它與固定板組成可變電容器。當被測壓力變化時,測壓膜片產(chǎn)生位移而改變兩極板間的距離,測量相應的電容量變化,可知被測壓力值。